Poleringen av silisiumblokkoverflaten er direkte relatert til kvaliteten på silisiumwaferskjæring. I poleringsprosessen poleres silisiumblokken suksessivt gjennom en grovslipeskive og en finslipeskive. Funksjonen til den grove slipeskiven er å kutte det skadede laget på overflaten av silisiumblokken; funksjonen til finslipeskiven er å polere og fjerne spor av det skadede laget og grov sand på overflaten av silisiumblokken.
1. Nåværende status
Det monokrystallinske silisiumwaferverkstedet åpner en maskin for å akselerere laserskjæring. Hvis operatøren er litt uforsiktig under selve arbeidet, vil kvaliteten på laserskjæringen av silisiumblokken være dårlig. Hovedpoengene er: det er sagmerker på overflaten av den laserkuttede silisiumblokken; størrelsen på silisiumblokken "buler" i midten; formen på den lokale silisiumblokken er bøyd på grunn av frakobling. For tiden kan børsteslipeskiven i verkstedet ikke lenger fjerne sagmerkene som er forårsaket av laserskjæring; for "bulging belly" silisiumblokken, på grunn av den begrensede poleringsevnen til børsteslipeskiven, kan den ikke fjerne den store størrelsen i midten. På dette tidspunktet er det et akutt behov for en slipeskive med sterkere slipeevne.
2. Implementere strategi
Hovedprinsippet for poleringsmaskinen som for tiden brukes i verkstedet er å polere overflaten av silisiumblokken gjennom en grovslipeskive og en finslipeskive. For tiden er grovslipeskiven til poleringsmaskinen erstattet av en diamantslipeskive, og finslipeskiven bruker en børsteslipeskive for å polere silisiumblokken.
Eksperimentet bruker en diamantharpiksbundet slipeskive. Alle naturlige kunstige diamanter kan brukes til skjæring. Diamant er en ekstremt sterk form for karbon. Det er amfifilt til jern og forårsaker rask skade. Bindemidlet er epoksyharpiks. Type bindemiddel har en viss dempende effekt på vibrasjoner forårsaket av friksjon i livet. Ved å bruke den sterke slipekraften til diamantslipeskiven kan noen overflateproblemer av silisiumblokken forårsaket av skjæremaskinen elimineres, for eksempel: det er sagmerker på overflaten av silisiumblokken kuttet av laseren; størrelsen på silisiumblokken "buler" i midten; Gode resultater kan oppnås ved å bøye formen på den lokale silisiumblokken forårsaket av bruddet, utføre grunnleggende polering og deretter bruke en finslipeskive for å forbedre overflaten til silisiumblokken.
